日本に虚を突かれて1カ月半、「フッ化水素独立」年末にもめどか

　サムスン電子とSKハイニックスは液体フッ化水素と気体フッ化水素の代替供給元を模索している。液体フッ化水素は国内メーカーの製品で代替できる可能性が高い。これまで韓国の半導体メーカーはソウルブレーンなどを通じ、液体フッ化水素の供給を受けてきた。ソウルブレーンは中国製の原材料（無水フッ酸）を精製するか、日本のステラケミファ、森田化学工業などから純度99.999％以上の高純度フッ化水素を輸入し、サムスン電子とSKハイニックスに供給してきた。サムスン電子とSKハイニックスは現在、ソウルブレーンが独自に生産した液体フッ化水素をテストしているという。業界関係者は「多少不良率が高まるとしても、当面はそれに耐え、生産を続けなければならないのではないか」と話した。

　気体フッ化水素が問題だ。サムスン電子とSKハイニックスは気体フッ化水素を日本の昭和電工から全量輸入してきた。気体フッ化水素は使われる量こそ少ないが、工程へと適用や保管が難しい。現在は米国の特殊ガスメーカーと日本メーカーの台湾法人などから供給を受けることが可能かどうか、サンプルを受け取り、テストを進めている。年内に稼働する森田化学工業の中国工場からフッ化水素を輸入することも検討。同時に国産化も推進している。ソウルブレーンは「輸送と保管容器の問題さえ解決されれば、気体フッ化水素の供給も可能だ」と指摘した。SKマテリアルズも年末までに気体フッ化水素の試作品を示す方針を明らかにした。