日本に虚を突かれて1カ月半、「フッ化水素独立」年末にもめどか

　日本政府が半導体・ディスプレーの重要素材3種類について、韓国に対する輸出規制を発表してから約50日が過ぎた。うち極端紫外線（EUV）用フォトレジストについては、日本が7日に輸出を許可したが、残るフッ化水素、フッ化ポリイミドについては輸出が許可されたとの情報はない。半導体生産に必須の素材であり、使用量が多いフッ化水素に対する懸念は強い。日本が7月4日に輸出規制を実施して以降、日本製のフッ化水素は1件も韓国の輸入されていない状況だ。

　サムスン電子とSKハイニックスは供給が途絶えたフッ化水素の代替供給を確保するためにさまざまな方策を検討しているが、直ちに生産に投入できる段階ではない。半導体業界関係者は「国内メーカーが生産した液体フッ化水素をテスト中だが、納品可能な量自体が不足しており、フッ化水素の供給難は年末まで続く可能性がある」と述べた。現在半導体メーカーが保有しているフッ化水素の在庫量は2カ月余りの分にすぎないという。日本がフッ化水素の輸出を阻み続ければ、在庫がなくなる10月以降、韓国の半導体産業は打撃を受けかねない。

■液体・気体製品、それぞれ供給多角化

　半導体生産に使われるフッ化水素は液体製品と気体製品という2つの形態がある。液体フッ化水素は微細な回路を刻むためのエッチングと不純物を除去するクリーニングの工程に使われる。気体フッ化水素は半導体ウエハーに薄い膜をかける薄膜蒸着工程に使用する。半導体の工程約500のうち10％に相当する50余りの工程に液体・気体フッ化水素が使われる。気体よりも液体フッ化水素の使用量の方が多い。